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制造過(guò)程中采取防靜電控制措施

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2014-06-25

 

為什么要在制造過(guò)程中采取防靜電控制措施?我們從以下三個(gè)方面來(lái)說(shuō)明。

 


1 多數(shù)電子元器件是靜電敏感器件

 


        多數(shù)未采取保護(hù)措施的元器件靜電放電敏感度都是很低,很多在幾百伏的范圍,如MOS單管在100-200V之間,GaAs FET在100-300V之間,而且這些單管是不能增加保護(hù)電路的;一些電路尤其是CMOS IC采取了靜電保護(hù)設(shè)計(jì),可雖然以明顯的提高抗ESD水平,但大多數(shù)也只能達(dá)到2000-4000V,而在實(shí)際環(huán)境中產(chǎn)生的靜電電壓則可能達(dá)到上萬(wàn)伏(如第1章的表1.4和表1.6。因此,沒(méi)有防護(hù)的元器件很容易受到靜電損傷。而且隨著元器件尺寸的越來(lái)減小,這種損傷就會(huì)越來(lái)越多。所以我們說(shuō),絕大多數(shù)元器件是靜電敏感器件,需要在制造、運(yùn)輸和使用過(guò)程中采取防靜電保護(hù)措施。

 


2 靜電對(duì)電子行業(yè)造成的損失很大

 


        電子行業(yè)如微電子、光電子的制造和使用廠商因?yàn)殪o電造成的損失和危害是相當(dāng)嚴(yán)重的。據(jù)美國(guó)1988年的報(bào)道,它們的電子行業(yè)中,由于ESD的影響,每年的損失達(dá)50億美元之多;據(jù)日本統(tǒng)計(jì),它們不合格的電子器件中有45%是由于靜電而引起的;我國(guó)每年因靜電危害造成的損失也至少有幾千萬(wàn)。

 

        ESD對(duì)電子元器件的危害還表現(xiàn)在它的潛在性。即器件在受到ESD應(yīng)力后并不馬上失效,而會(huì)在使用過(guò)程中逐漸退化或突然失效。這時(shí)的器件是“帶傷工作”。這是人們對(duì)靜電危害認(rèn)識(shí)不夠的一個(gè)主要原因。實(shí)際上,靜電放電對(duì)元器件損傷的潛在性和累積效應(yīng)會(huì)嚴(yán)重地影響元器件的使用可靠性。由于潛在損傷的器件無(wú)法鑒別和剔除,一旦在上機(jī)應(yīng)用時(shí)失效,造成的損失就更大。而避免或減少這種損失的最好辦法就是采取靜電防護(hù)措施,使元器件避免靜電放電的危害。的ESD試驗(yàn)而功能完全正常的樣品,另一組是未經(jīng)過(guò)任何試驗(yàn)的良品。壽命試驗(yàn)的結(jié)果是前者的中

 


3 國(guó)內(nèi)外企業(yè)的狀況

 


        國(guó)際上在1979年成立了EOS/ESD研究協(xié)會(huì),主要研究電子行業(yè)的EOS和ESD問(wèn)題,尋求解決方法。美軍標(biāo)883E“微電路試驗(yàn)方法”中關(guān)于ESD等級(jí)評(píng)價(jià)的標(biāo)準(zhǔn)已先后7次修訂,現(xiàn)在已是3015.7版,而且很多標(biāo)準(zhǔn)明確規(guī)定軍用微電路必須達(dá)到2kV的ESD等級(jí)。美國(guó)多數(shù)主要的電子制造商在八十年代初已經(jīng)建立了他們的ESD組織機(jī)構(gòu),專門負(fù)責(zé)ESD方面的工作,主要有防靜電設(shè)計(jì)、靜電檢測(cè)、靜電防護(hù)以及管理、培訓(xùn)等。

 

        與國(guó)際上發(fā)達(dá)國(guó)家相比,我國(guó)在這方面的工作起步要晚很多,差距也較大。直到最近幾年才真正重視和發(fā)展起來(lái)。在軍品方面,如修改版的國(guó)軍標(biāo)GJB548A-96和國(guó)軍標(biāo)128A-97 分別增加了對(duì)微電路和分立器件的靜電放電敏感度分類要求;并要求貫徹國(guó)標(biāo)的產(chǎn)品必須給出ESDS的值;在民品方面,合資和獨(dú)資企業(yè)的狀況較好,起步較早,大多參照國(guó)外企業(yè)的做法,在抗ESD設(shè)計(jì)和靜電防護(hù)方面都達(dá)到了較高的水平,如上海的貝嶺、南京的富士通、廣東北電等;而其它民品企業(yè)也已經(jīng)意識(shí)到靜電問(wèn)題重要性,并在產(chǎn)品的抗靜電設(shè)計(jì)和生產(chǎn)線的靜電防護(hù)方面投入人員和資金,取得了很好的效果。雖然國(guó)內(nèi)企業(yè)正在逐步改進(jìn),但仍然存在不小的差距。

 

 

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