如何對器件進行靜電擊穿檢測呢？一有幾種檢測的辦法：

        一、用電子顯微鏡或掃描電子顯微鏡(SEM)觀察

        二、光輻射法

        用顯微鏡在昏暗的視野下進行觀察，同時，將結(jié)區(qū)電壓慢慢地增加，這樣，當結(jié)區(qū)發(fā)生擊穿時，在擊穿的地萬便會發(fā)光。這是由于在結(jié)區(qū)的電子與空穴復(fù)合時所釋放出的能量以光子的形式輻射出來了。

        三、選擇性化學(xué)腐蝕法

        這是一種使用易于腐蝕si、而難于腐蝕SiO2的液體來對形成氧化膜的試樣進行腐蝕的方法。如果在氧化膜中存在有缺陷，則通過這個缺陷，si就會被腐蝕，便能觀察到特有的腐蝕坑，這樣，便可對缺陷進行評估。

        四、利用液晶觀察熱點

        因靜電放電而產(chǎn)生的熱擊穿，可利用向列型液晶來觀察熱點的位置，這是一種比較簡便的萬法。

        五、EBIC法

        電子束感應(yīng)電流法(簡稱EBIC法)是測量由于掃描電子顯微鏡電子束的照射，在半導(dǎo)體中形成的電子空穴對引起的電流的方法。這是一種非破壞性的實驗方法，可以了解在表面之下的電特性和物理特性。

        六、電壓對比法

        電壓對比法與前面的EBIC法類似。利用這種方法的電子束探針，可以代替以往的鎢探針，它是一種分析故障的高分辨率的探針。

        七、EBEGC法

        電子束增強選通電流法(簡稱EBEGC法)，這是一種將二次電子束與電子束引起的感應(yīng)電流像疊加起來進行利用的一種方法。這種方法可以看作是EBIC法與電壓對比法二者的合并。

如果您對以上關(guān)于信息感興趣或有疑問，請點擊聯(lián)系創(chuàng)選寶官方網(wǎng)站網(wǎng)頁右側(cè)的在線客服，或致電：400-606-9458，創(chuàng)選寶防靜電將您做熱情介紹和支持。

更多資訊請查詢：http://www.paf0.cn  版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請注明出處。   編輯：創(chuàng)選寶 C